由联盟成员单位赛迈科材料股份有限公司牵头,联合北京北方华创微电子装备有限公司、湖南三安半导体有限公司、山东大学、中国科学院半导体研究所联合提出的《碳化硅衬底晶体生长用石墨构件纯度测定方法》团体标准提案,经CASAS管理委员会投票获得通过,2023年11月20日正式立项,并分配标准编号:T/CASAS 036。
秘书处将向CASAS正式成员发出征集起草单位的通知,组建标准起草小组,请CASAS正式成员关注秘书处邮件(casas@casa-china.cn)。
T/CASAS 036—20XX《碳化硅衬底晶体生长用石墨构件纯度测定方法》描述了碳化硅衬底晶体生长用石墨构件纯度测定的原理、试验环境、仪器设备、试剂与材料、试样、试验步骤、试验结果、试验报告及质量控制的方法。适用于碳化硅衬底晶体生长用石墨构件纯度(≥99.9995 wt%)的测定,单个元素含量测定范围为0.01 mg/kg~5 mg/kg。
----文章转自CASA----